- Диаметр отверстия гентри - 70 см
- Грузоподъемность стола - 250 кг
- Максимум. амплитуда для каждой оси — 33 мТ/м
Модель 1:
- Максимальное поле зрения - 50 см
- Максимум. скорость нарастания для каждой оси — 125 т/м/с
- Типичная однородность V-RMS - ≤1,1 ppm (при 40 см DSV)
Модель 2:
- Максимальное поле зрения - 55 см
- Максимум. скорость нарастания для каждой оси — 120 т/м/с
- Технология микро-охлаждения — да (7 л жидкого гелия)
- Типичная однородность V-RMS - ≤1,1 ppm (при 45 см DSV)